ساخت نخستین‌‌
نانوچشمه‌ی EUV  

این ابزار جدید در تصویربرداری‌های دقیق زیستی، ایجاد الگوهای نانومقیاس با لیتوگرافی پیشرفته و طیف‌نگاری نانومقیاس کاربرد خواهد داشت

پرتوهای EUV به‌دلیل داشتن طول موج کوتاه (در حد پنج و 50 نانومتر یا چیزی بین یک دهم تا یک صدم طول موج نور مرئی)، کاربرد فراوانی در حکاکی الگوهای ریز نانومقیاس و طیف‌نگاری دارند. ابزارهایی که تاکنون برای تولید این پرتوها مورد استفاده قرار می‌گرفت با توجه به تقویت‌کننده‌های حجیم و گرانی که داشتند، بسیار جاگیر بوده، اندازه‌ی آن‌ها به دو الی سه متر می‌رسید.

به‌گزارش ستاد ویژه‌ی فناوری نانو، اخیراًٌ محققان کره‌ای موفق شدند تا با استفاده از نانوساختارهای آنتنی پاپیونی‌شکل طلا ـ که روی زیر لایه‌هایی از جنس یاقوت کبود قرار می‌گرفتند ـ سیستم جدید کوچک‌تر و ارزان‌تری برای تولید EUV بسازند. این ابزار جدید 20 نانومتری ـ که بر اساس تشدید پلاسمون‌های سطحی طراحی شده‌است ـ می‌تواند بدون نیاز به تقویت‌کننده، مستقیماً از یک پالس کوچک با انرژی 2 W/cm 10نور، EUVای را با طول موج کم‌تر از 50 نانومتر و شدتی دو برابر روش‌های کنونی، تولید کند.

این ابزار جدید در تصویربرداری‌های دقیق زیستی، ایجاد الگوهای نانومقیاس با لیتوگرافی پیشرفته و طیف‌نگاری نانومقیاس کاربرد خواهد داشت و موارد متعدد دیگری؛ از قبیل غربال‌گری برای یافتن نقص مواد، آشکارسازی مقادیر بسیار کم مواد پرتوزا ـ که به امنیت عمومی و کاربردهای دفاعی مربوط می‌شود ـ کاربرد داشته و جایگزینی آن به‌ جای ساعت‌های اتمی سزیومی فعلی برای دست‌یابی به دقت بیش‌تر هم در دست بررسی است.

همینک تحقیقات برای یافتن روش‌هایی، مثل استفاده از ساختارهای مخروطی سه بعدی و نوک تیز در حال انجام است تا بتوانند به کمک آن بازدهی این ابزار را بهبود دهند.